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無塵車間生產(chǎn)對于濕度控制是非常重要的條件之一，無塵車間、潔凈室運(yùn)作過程中一個(gè)常用的環(huán)境控制條件是相對濕度。半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi)，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi)，例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。
GMP潔凈車間工廠裝修原則 1、統(tǒng)一原則。在布局設(shè)計(jì)與改進(jìn)時(shí)，務(wù)必將各工序的人、機(jī)、料、法、環(huán)5因素有機(jī)化學(xué)融合并維持充足均衡，一旦沒有統(tǒng)一融洽好，作業(yè)非常容易扭曲，會增加停滯不前時(shí)間，提升原材料運(yùn)送的頻次。 2、zui短路線原則。在布局設(shè)計(jì)與改進(jìn)時(shí)，務(wù)必要遵照挪動間距、挪動時(shí)間降到zui低。由于挪動間距越少，原材料運(yùn)送所花銷的花費(fèi)和時(shí)間就會越小。 3、人1流、貨運(yùn)物流通暢原則。使工序沒有阻塞，貨運(yùn)物流暢行無阻。在工廠布局設(shè)計(jì)時(shí)要留意：盡量減少逆流和交叉式狀況，不然會造成一系列出乎意料的不良影響，如質(zhì)量難題、管理方法難度系數(shù)難題、生產(chǎn)率難題、安全隱患等。 4、安全性令人滿意原則。在開展工廠布局設(shè)計(jì)與改進(jìn)時(shí)，務(wù)必保證作業(yè)工作人員的作業(yè)既安全性又輕輕松松，由于只能那樣才可以緩解作業(yè)疲勞值。請謹(jǐn)記：原材料的挪動、轉(zhuǎn)動姿勢等將會會造成安全生產(chǎn)事故，上升、卸掉貨品姿勢等也將會會造成安全生產(chǎn)事故。 5、機(jī)動靈活原則。在布局設(shè)計(jì)時(shí)，應(yīng)盡量保證融入轉(zhuǎn)變、靈活應(yīng)變，如應(yīng)對工序的調(diào)整、生產(chǎn)能力的調(diào)整能靈便相匹配。
無塵車間能夠分成下列好多個(gè)級別：1級、百級、千級、萬級、十萬級、三十萬級、百1萬級。 每立方將低于0.5微米粒度的微塵總數(shù)操縱在3500個(gè)下列，就做到了國際性無塵規(guī)范的A1級?，F(xiàn)階段運(yùn)用在射頻收發(fā)器生產(chǎn)制造的無塵規(guī)范針對塵土的規(guī)定高過A1級，那樣的高標(biāo)準(zhǔn)關(guān)鍵被運(yùn)用在一些級別較高芯片生產(chǎn)上。微塵總數(shù)被嚴(yán)控在每立方1000個(gè)之內(nèi)，這也就是業(yè)界別名級別中的萬級。 無塵車間詳細(xì)地址的挑選應(yīng)合乎有益生產(chǎn)制造、便捷生活、節(jié)約項(xiàng)目投資和經(jīng)營費(fèi)用的標(biāo)準(zhǔn)。無塵車間與交通出行主干路間隔宜50米之上。
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